本系統帶有一臺精密的臭氧發生器，用來對臭氧分析儀做校準及氮氧化物（NO）的滴定，以產生二氧化氮（NO2）。臭氧源適用作一個轉換標準，從而無需用其他臭氧轉換標準進行檢查和校準。          

可選的內置紫外吸收光度計是一臺完整的紫外臭氧分析儀，它可獨立使用以監測產生的臭氧或作為臭氧發生器繼動控制回路的一部分。          

可選的內置滲透爐可有效地用于產生精確濃度的氣體去校準大范圍的氣體分析儀。大容量的爐體適用于許多型號和尺寸的滲透裝置。一個內置的干凈空氣輸送通道，精密質量流量控制器和溫度控制器保證了氣體發生過程的高精確度。 

技術參數：

氣動部分：  

流量精度：滿刻度的±1.0% 

流量可重復性：滿刻度的±0.15% 

流量線性：滿刻度±0.5% 稀釋氣：  

質量流量控制器量程：0-10SLPM（可選0-20SLPM）

 輸入壓力：20—35psig 接口1（可選接口2） 

源氣：  質量流量控制器量程0—100SCCM（可選0-50，0-200，0-500SCCM，0-1SLM） 可選第二源質量流量控制器 

輸入壓力：20-35psig  3個氣瓶輸入接口（可選3個附加口） 

源集氣管排氣口 可選內部滲透爐  可用流量控制器選擇稀釋比率變化，加上第二個源流量控制器用于更大動態量程 電磁閥用于稀釋器，源和排氣口 8個校準氣體輸出口 可選聚四氟乙烯電磁閥  聚四氟乙烯氣相滴定反應室符合EPA標準 95%設置點完成少于60秒  接觸氣體的材料均為不銹鋼，聚四氟乙烯TeflonTM、PEEKTM或HalarTM；所有的套接口材料使用VitonTM或CalrezTM和其他相似材料密封。 

可選內部滲透爐：  玻璃爐燃燒室長13.2cm, 內徑3.02 cm, 容積94 cm3, 開放直徑2.54 cm 栽氣預加熱器  爐操作溫度保持在設置點3℃，高于環境60℃的+0.1℃ 預熱時間少于30分鐘  

100SCCM的標定運載流量保持在使用精密質量流量控制器的1%之內 帶入口過濾器的內部供氣通道，高效接口過濾器和污染滌除氣罐