如果在建立樣本或工件的校準(zhǔn)或測(cè)量前SJ-400已經(jīng)安裝了,必須實(shí)行“向上/向下測(cè)量(調(diào)整驅(qū)動(dòng)/探測(cè)單元的高度)以及”水平測(cè)量(調(diào)整驅(qū)動(dòng)/探測(cè)單元的斜度)。
4.2.1 向上/向下測(cè)量
實(shí)行向上/向下測(cè)量時(shí),使用高度/傾斜調(diào)整單位和簡單的立柱(可選).
■ 用高度/傾斜調(diào)整單位進(jìn)行向上/向下測(cè)量
通過旋轉(zhuǎn)在高度//傾斜調(diào)整單位上的向上/向下旋鈕,調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)/探測(cè)裝置的高度以便觸頭適當(dāng)?shù)亟佑|樣品或工件測(cè)量表面。觸針適當(dāng)接觸后檢查主屏幕上電平指示儀。
■ 用簡單的立柱進(jìn)行向上/向下測(cè)量
使用簡單的立柱可以調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)/探測(cè)裝置向上/向下測(cè)量。
4.2.2 零點(diǎn)校準(zhǔn)
■ 校零程序
第二個(gè)主屏幕或DAT measure屏幕二者中任一個(gè)都可以實(shí)行校零。
假設(shè)當(dāng)前觸針指向零點(diǎn),實(shí)行二個(gè)校零程序中的任一個(gè)都允許SJ-400實(shí)行測(cè)量和計(jì)算。
不過,校零的實(shí)行范圍限制觸針物理位置在±100um范圍內(nèi)。如果觸針物理位置超出±100um范圍實(shí)行校零,其結(jié)果是錯(cuò)的。在這種情況下,要重新進(jìn)行校零以使偏離物理位置的觸針回到±100um范圍內(nèi)。 4.2.3 水平測(cè)量
針對(duì)水平測(cè)量驅(qū)動(dòng)/探測(cè)裝置,DAT功能調(diào)整程序和目視調(diào)整程序均是有效的。
DAT功能是一個(gè)“水平測(cè)量支持功能”。使用這個(gè)功能可以精確地水平測(cè)量驅(qū)動(dòng)/探測(cè)裝置。如果不需要精確水平測(cè)量,可以使用目視調(diào)整程序。
■ DAT功能
水平測(cè)量運(yùn)行,視覺上做到精細(xì)調(diào)節(jié)可能有困難如驅(qū)動(dòng)/探測(cè)裝置極um向上/向下的移動(dòng)。因此,SJ-400配置DAT功能,它將顯示帶數(shù)字觸摸屏上向上/向下移動(dòng)。
在SJ-400屏幕上顯示向上/向下移動(dòng)情況,如高度-傾斜調(diào)整裝置傾斜按鈕的轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)字或水平工作臺(tái)的調(diào)整數(shù)據(jù). Tip提示:使用水平工作臺(tái)時(shí),簡易的柱體是必須的。關(guān)于如何使用柱體的資料,請(qǐng)參考10.1節(jié)“簡易柱體”。
■ 帶DAT功能的傾斜調(diào)整
在觸摸屏的主頁上使用DAT功能實(shí)行DAT測(cè)量,以及根據(jù)測(cè)量結(jié)果調(diào)節(jié)高度-傾斜調(diào)整裝置或水平工作臺(tái),方法如下:
1. 在主頁上觸摸“DAT”按鈕,顯示DAT測(cè)量屏幕。
2. 如果高度-傾斜調(diào)整裝置是用水平測(cè)量,打開屏幕通過觸摸“傾斜調(diào)整數(shù)量裝置“按鈕顯示傾斜旋鈕的轉(zhuǎn)動(dòng)
數(shù)量。如果使用水平工作臺(tái)測(cè)量,進(jìn)入程序3。
3. 如果使用水平工作臺(tái),通過按“ZERO/ABS“按鈕進(jìn)行零位設(shè)定計(jì)量顯示器數(shù)值,如果使用高度-傾斜調(diào)整
單元,進(jìn)入程序4。
4. 在顯示裝置上按“START/STOP”鍵。實(shí)行DAT測(cè)量。水平測(cè)量調(diào)整數(shù)量在屏幕上顯示出來。
5. 為了防止探測(cè)器或觸針的損壞,在調(diào)整傾斜前,將觸針從工件上移開。
高度-傾斜裝置:通過順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)傾斜按鈕來升高驅(qū)動(dòng)/探器裝置。