塵埃粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率指測(cè)量到的粒子數(shù)與懸浮微粒實(shí)際粒子數(shù)之比,其數(shù)值代表測(cè)量結(jié)果的可信度。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 21501-4—2007[7]規(guī)定:當(dāng)塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)粒徑為最小可測(cè)粒徑附近的顆粒時(shí),計(jì)數(shù)效率應(yīng)為(50±20)%;當(dāng)檢測(cè)粒徑為1.5~2 倍最小可測(cè)粒徑時(shí),計(jì)數(shù)效率應(yīng)為(100±10)%。如果直接利用標(biāo)準(zhǔn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的粒徑下限對(duì)被校準(zhǔn)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器粒徑下限(通常為100、300 nm)進(jìn)行標(biāo)定,測(cè)量結(jié)果的不確定度大。凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器粒徑的測(cè)量量程可達(dá)到4.5~3 000 nm,測(cè)量精度為5%,因此采用凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)可對(duì)塵埃粒子量程的計(jì)數(shù)效率進(jìn)行有效標(biāo)定。以美國(guó)Thermo 公司生產(chǎn)的3300A 型聚苯乙烯乳膠粒子為氣溶發(fā)生器的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì), 粒徑為0.3 μm,99%以上的顆粒粒徑分布在0.28~0.32 μm,且無(wú)粒徑小于0.22 μm 的顆粒。將德國(guó)Grimm 公司生產(chǎn)的5403 型凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器和美國(guó)Metone 公司生產(chǎn)237B 型塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行比對(duì), 通過(guò)改變差分電遷移器的粒徑檔位,對(duì)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率進(jìn)行評(píng)定,結(jié)果如表1 所示。以編號(hào)為GBW12031 的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)聚苯乙烯乳膠粒子為氣溶發(fā)生器的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì), 粒徑為0.5 μm, 99%以上的顆粒粒徑分布在0.48~0.52 μm,差分電遷移器的粒徑檔位設(shè)為498 nm,結(jié)果如表2 所示。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的總計(jì)數(shù)值滿足泊松分布[8]。如果泊松分布的計(jì)數(shù)值為 N, 則相對(duì)誤差為 1/姨N(yùn) ,因此采樣流量越大,單位時(shí)間內(nèi)計(jì)數(shù)總值越大,相對(duì)誤差越小, 但是現(xiàn)有校準(zhǔn)方法和校準(zhǔn)設(shè)備不能滿足對(duì)大氣流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn), 如體積流量為50、100 L/min 的塵埃粒子計(jì)數(shù)器。本文中介紹新的校準(zhǔn)方法,可以動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)校準(zhǔn)時(shí)所需氣溶膠的濃度,實(shí)現(xiàn)不同流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn)。校準(zhǔn)時(shí),在塵埃粒子計(jì)數(shù)器的入口處連接動(dòng)態(tài)的氣溶膠稀釋器的出口,稀釋器的入口處為與凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器中的粒子相同的濃度和粒徑的氣溶膠,稀釋氣體為經(jīng)過(guò)孔徑為0.1 μm 的濾膜的潔凈氣體, 稀釋器的稀釋倍數(shù)在1~200 內(nèi)可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié),稀釋后的氣溶膠的最大體積流量可達(dá)110 L/min。當(dāng)氣溶膠的稀釋比例已知時(shí),將塵埃粒子計(jì)數(shù)器的測(cè)量值與稀釋比例的乘積COPC D 與凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器的測(cè)量值CCPC進(jìn)行比對(duì),即可以實(shí)現(xiàn)塵埃粒子計(jì)數(shù)量值的校準(zhǔn)。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中,以粒徑為0.5 μm 的聚苯乙烯乳膠粒子為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對(duì)4 種不同流量的塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行計(jì)數(shù)效率評(píng)定, 并對(duì)通過(guò)改變粒子濃度對(duì)體積流量為100 L/min 的塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行多次測(cè)量,結(jié)果如表3、4 所示。由表可知,在相同的實(shí)驗(yàn)條件下,采用大流量的塵埃粒子計(jì)數(shù)器提高了單位時(shí)間的氣體采集量,測(cè)量數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性更高,能夠更準(zhǔn)確地對(duì)潔凈室的潔凈等級(jí)進(jìn)行評(píng)定。