空氣中顆粒物污染不僅危害人類健康[1]，還是醫(yī)藥、電子、航空等行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來源，如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積會造成電氣不良特性甚至更嚴(yán)重的破壞，因此準(zhǔn)確評價空氣潔凈度已經(jīng)成為這些行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測的迫切要求[2]。在我國國家標(biāo)準(zhǔn) 《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073—2013）中就以 0.1~5.0 μm 范圍內(nèi)各粒徑檔的顆粒數(shù)量濃度作為潔凈間等級的劃分標(biāo)準(zhǔn)。目前主要用于空氣潔凈度測量的商業(yè)儀器為塵埃粒子計數(shù)器，又稱激光粒子計數(shù)器（optical particle counter，OPC）[3]。塵埃粒子計數(shù)器以光散射[4]為測量基礎(chǔ)，即當(dāng)被測氣溶膠經(jīng)儀器進(jìn)樣系統(tǒng)并以恒定流速通過光敏感區(qū)時，會發(fā)生顆粒的光散射現(xiàn)象并產(chǎn)生散射信號，且該光散射信號強(qiáng)弱及數(shù)量與氣溶膠中顆粒粒徑和數(shù)量密切相關(guān)[5-6]通過對該信號的光電轉(zhuǎn)化、放大及檢測[7]，再利用軟件及顯示單元可得到單位體積中的粒子數(shù)量，即粒子數(shù)量濃度。塵埃粒子計數(shù)器可測量粒徑范圍為 0.1~10 μm 的顆粒數(shù)量濃度，有效滿足對潔凈度的監(jiān)測。塵埃粒子計數(shù)器作為光學(xué)設(shè)備，由于使用過程中存在透鏡污染、光源老化聚焦偏移等問題，使得該儀器在出廠及使用過程中均需要進(jìn)行計量校準(zhǔn)，其中計數(shù)效率[8]則是塵埃粒子計數(shù)器的最重要的計量性能指標(biāo)。目前對于塵埃粒子計數(shù)器計數(shù)效率的校準(zhǔn)，國際上遵循塵埃粒子計數(shù)器 （OPC）-凝結(jié)核粒子計數(shù)器（CPC）-氣溶膠靜電計（FCAE）的逐級溯源方法，即通過凝結(jié)核粒子計數(shù)器（CPC）實(shí)現(xiàn)對塵埃粒子計數(shù)器測量結(jié)果的校準(zhǔn)，校準(zhǔn)后的測量結(jié)果可溯源至國際基本單位——電流[9-10]。由于 FCAE 的最大粒徑測量值不超過 1 μm，因此上述方法只能滿足塵埃粒子計數(shù)器小粒徑范圍內(nèi)（小于 1.0 μm） 的計數(shù)效率校準(zhǔn)。而對大粒徑范圍內(nèi)（大于 1.0 μm）的計數(shù)效率校準(zhǔn)仍是此領(lǐng)域內(nèi)國際計量機(jī)構(gòu)研究的熱點(diǎn)之一，如日本計量院開展了單分散氣溶膠發(fā)生器的研究，通過對發(fā)生器頻率的準(zhǔn)確控制，可在 0.5~20 μm 范圍內(nèi)得到顆粒濃度可控的氣溶膠源[11]。由于我國尚未建立可溯源的塵埃粒子計數(shù)器家計量標(biāo)準(zhǔn)裝置，因此無法滿足對塵埃粒子計數(shù)器全量程范圍的顆粒計數(shù)效率的校準(zhǔn)需求。本文中開展了對塵埃粒子計數(shù)器計數(shù)效率的校準(zhǔn)技術(shù)研究，分別采用國際公認(rèn)方法、光學(xué)顯微鏡計數(shù)方法實(shí)現(xiàn)對塵埃粒子計數(shù)器小粒徑范圍（≤1.0 μm）、大粒徑范圍內(nèi)（>1.0 μm）計數(shù)效率的校準(zhǔn)，為有效評價塵埃粒子計數(shù)器的計數(shù)效率提供可靠的計量標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)支撐。1 校準(zhǔn)裝置的搭建1.1 小粒徑范圍內(nèi)的校準(zhǔn)裝置采用國際公認(rèn)的 OPC-CPC-FCAE的逐級溯源方法，開展了塵埃粒子計數(shù)器校準(zhǔn)裝置的研制，在該校準(zhǔn)方法中以CPC 作為塵埃粒子計數(shù)器的量值傳遞標(biāo)準(zhǔn)。CPC 計數(shù)效率需使用氣溶膠顆粒數(shù)量度的最高計量標(biāo)準(zhǔn)計量標(biāo)準(zhǔn)——?dú)馊苣z靜電計進(jìn)行校準(zhǔn)，因此中國計量科學(xué)研究院開展氣溶膠靜電計校準(zhǔn)方法 [12] 和 CPC校準(zhǔn)技術(shù)研究[13]，建立微小電流（100 f A）校準(zhǔn)、消除顆粒多電荷效應(yīng)等技術(shù)方法，從而得到可用于校準(zhǔn)塵埃粒子計數(shù)器的上級標(biāo)準(zhǔn)，并得到 CPC 的顆粒計數(shù)效率ηs=98.4 %。在上述工作基礎(chǔ)上，本文中開展了塵埃粒子計數(shù)器校準(zhǔn)技術(shù)研究及裝置搭建。